采用微粒子沖擊去除材料研磨，有彈性發(fā)射加工、非接觸研磨和利用電泳動研磨。最近人們也探索了許多新的研磨技術(shù)，如施加特殊研磨力研磨，有振動研磨、磁性流體研磨和磁力研磨。用特殊工具研磨有砂帶研磨、液體結(jié)合劑砂輪研磨、采用研磨膜研磨和固著磨料研磨，復(fù)合研磨有機械化學(xué)研磨和電解研磨法等。隨著時代的發(fā)展和科技的進步，人們研究出來了高速研磨機變速控制方法，這種技術(shù)屬于機械加工技術(shù)中的超精密加工技術(shù)，在研磨加工開始及結(jié)束兩個階段控制磨具轉(zhuǎn)速的變化，使之有一個緩慢、迅速、緩慢的提速和降速過程。其效果在于大為減輕磨具與工件表面的沖擊，從而提高加工精度和加工效率。隨著技術(shù)的發(fā)展,人們對加工精度的要求越來越高，加工技術(shù)水平也在不斷提高,由原來的精密、超精密加工,發(fā)展到現(xiàn)在的納米級加工。但是目前的納米級加工技術(shù)普遍存在著加工效率低、成本高的問題,這就限制了納米加工技術(shù)的推廣應(yīng)用。